เซ็นเซอร์เร่ง เมมส์ ที่มีประสิทธิภาพสูง 2 แกน เครื่องเร่ง เมมส์ ความแม่นยําสูง

รุ่น

MXD05HC

MXD10HC

MXD16HC

MXD20HC

MXD30HC

MXD50HC

หน่วย

แพ็คเกจ

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

แกน

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

ช่วง

5

10

16

20

30

50

g

ความไม่เป็นเชิงเส้นของสเกล

<1500

<1500

<1500

<1500

<1500

<3000

ppm(IEEE Norm, of full scale)

แบนด์วิดท์ (ปรับได้) 3db

150

150

150

150

150

150

Hz

ความล่าช้า

<1.5

<1.5

<1.5

<1.5

<1.5

<1.5

ms

VRE

100

100

50

50

40

30

µg/g2

สัญญาณรบกวน

<12.5

<15

<20

<25

<40

<100

µg/√Hz

ความละเอียด

<12.5

<15

<20

<25

<40

<100

µg

อคติก่อนการจัดส่ง (อุณหภูมิห้อง)

<±1

<±1

<±1

<±1

<±1

<±1.5

mg(ค่าการสอบเทียบอุณหภูมิห้อง)

การดริฟท์ของอุณหภูมิอคติก่อนการจัดส่ง

<±1.25

<±2.5

<±3

<±3

<±5

<±6

mg

ฮิสเทอรีซิสของอุณหภูมิอคติก่อนการจัดส่ง

<0.2

<0.4

<0.5

<0.5

<0.6

<0.7

mg

ค่าตกค้างของการชดเชยอคติหลังการจัดส่ง

<±0.2

<±0.25

<±0.3

<±0.4

<±0.75

<±1

mg(การชดเชยแบบเป็นชิ้นๆ ลำดับที่สอง)

ความเสถียรของอคติ 1 วินาทีราบรื่น

13

20

25

25

50

100

ug

ความเสถียรของอคติ 10 วินาทีราบรื่น

8

15

15

15

35

50

ug

ความเสถียรของอคติ allan

2

4

5

5

10

15

ug

การทำซ้ำรายปี

<±0.6

<±1

<±1.25

<±1.25

<±1.75

<±2

mg

การทำซ้ำการสลับ 1σ

5

7.5

<10

<10

<20

<20

ug

แฟกเตอร์สเกลที่ตั้งจากโรงงาน

1600000±320

800000±80

500000±50

400000±40

250000±50

150000±30

Lsb/g(ค่าการสอบเทียบอุณหภูมิห้อง)

การทำซ้ำรายปี

<±250

<±250

<±250

<±250

<±250

<±250

Ppm

สัมประสิทธิ์อุณหภูมิสเกล

<80

<80

<80

<80

<80

<80

ppm/℃

ข้อผิดพลาดที่เหลือของแฟกเตอร์สเกลหลังจากการชดเชยอุณหภูมิของระบบ

<100

<100

<100

<100

<100

<100

ppm(การชดเชยลำดับที่สอง)

เวลาเริ่มต้น

<0.5

<0.5

<0.5

<0.5

<0.5

<0.5

s

ความถี่ในการสุ่มตัวอย่าง (ปรับได้)

16K±5%

16K±5%

16K±5%

16K±5%

16K±5%

16K±5%

Hz

ไฟฟ้าช็อต

3000

3000

3000

3000

6000

6000

g

ไม่มีไฟฟ้าช็อต

3000

3000

3000

3000

6000

6000

g

ข้อผิดพลาดในการแก้ไขการสั่นสะเทือน (6 grms)

1

1

1

0.5

mg/grms

อุณหภูมิในการทำงาน

-45-+85

-45-+85

-45-+85

-45-+85

-45-+85

-45-+85

℃

แรงดันไฟฟ้า

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

V

กระแสไฟ

<20

<20

<20

<20

<20

<20

ma

CI

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI