고성능 MEMS 가속 센서 2 축 고정밀 MEMS 가속계

모델

MXD05HC

MXD10HC

MXD16HC

MXD20HC

MXD30HC

MXD50HC

단위

패키지

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

수축

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

X,Y

범위

5

10

16

20

30

50

g

스케일 비선형성

<1500

<1500

<1500

<1500

<1500

3000

ppm(전체 규모의 IEEE 표준)

대역폭 (조정 가능) 3dB

150

150

150

150

150

150

Hz

지연

<1.5

<1.5

<1.5

<1.5

<1.5

<1.5

ms

VRE

100

100

50

50

40

30

μg/g2

소음

< 125

<15

<20

<25

<40

<100

μg/√Hz

결의

< 125

<15

<20

<25

<40

<100

μg

출하 전 편차 (실온)

<±1

<±1

<±1

<±1

<±1

<±1.5

mg (실온 정정 값)

운송 전 편차 온도 변동

<±1.25

<±2.5

<±3

<±3

<±5

<±6

mg

운송 전 치우치 온도 히스테레시스

<0.2

<0.4

<0.5

<0.5

<0.6

<0.7

mg

운송 후의 편차 보상 잔액

<±0.2

<±0.25

<±0.3

<±0.4

<±0.75

<±1

mg ((제2급 부품상 보상)

편향성 안정성 1s 매끄럽다

13

20

25

25

50

100

ug

편향성 안정성 10s 매끄럽다

8

15

15

15

35

50

ug

편향성 안정성

2

4

5

5

10

15

ug

연간 반복성

<±0.6

<±1

<±1.25

<±1.25

<±1.75

<±2

mg

전환 반복성 1σ

5

7.5

<10

<10

<20

<20

ug

공장에서 정한 규모 요인

1600000±320

800000±80

500000±50

400000±40

250000±50

150000±30

Lsb/g (실온 정정 값)

연간 반복성

<±250

<±250

<±250

<±250

<±250

<±250

ppm

스케일 온도 계수

< 80

< 80

< 80

< 80

< 80

< 80

ppm/°C

시스템 온도 보상 후의 잔류 스케일 요인의 오류

<100

<100

<100

<100

<100

<100

ppm ((제2급 보상)

시작 시간

<0.5

<0.5

<0.5

<0.5

<0.5

<0.5

s

샘플링 주파수 (조정 가능)

16K±5%

16K±5%

16K±5%

16K±5%

16K±5%

16K±5%

Hz

전기 충격

3000

3000

3000

3000

6000

6000

g

전기 충격을 받지 않습니다.

3000

3000

3000

3000

6000

6000

g

진동 수정 오류 (6gms)

1

1

1

0.5

mg/gms

작동 온도

-45-+85

-45-+85

-45-+85

-45-+85

-45-+85

-45-+85

°C

공급 전압

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

V

전류

<20

<20

<20

<20

<20

<20

엄마

CI

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI