1. Σύνοψη
Η
επιταχυνόμετροείναι ένας από τους πιο θεμελιώδεις και απαραίτητους αισθητήρες στα συστήματα αδρανειακής πλοήγησης.Και η ακρίβεια και η σταθερότητα της ανίχνευσης καθορίζουν άμεσα τη συνολική ακρίβεια της πλοήγησης και την επίλυση της στάσης.Μετά από μακροχρόνια τεχνολογική εξέλιξη, τα επιταχυνόμετρα έχουν υποστεί μεγάλες αναβαθμίσεις, εξελισσόμενες από τις πρώτες μεγάλες μηχανικές και κουαρτζικές συσκευές υψηλής ακρίβειας στις σημερινές μικροσκοπικές συσκευές.ΜΜΕΣ επιταχυνόμετρα μαζικής παραγωγήςΗ τεχνολογική αυτή αναβάθμιση όχι μόνο μειώνει σημαντικά το μέγεθος και το κόστος του προϊόντος, αλλά βελτιστοποιεί επίσης τις αρχές λειτουργίας και τη δομική σχεδίαση.Διαφορετικοί τύποι επιταχυνόμετρων έχουν προφανείς διαφορές στην ευαισθησίαΗ κατανόηση των βασικών χαρακτηριστικών τους αποτελεί τη βασική βάση για την επιλογή των αισθητήρων και τον σχεδιασμό των αδρανών συστημάτων.
2Βασική αρχή λειτουργίας
Όλα τα επιταχυνόμετρα ακολουθούν την ίδια απλή λογική λειτουργίας, αντί να ανιχνεύουν την επιτάχυνση απευθείας, βασίζονται στην αδράνεια ενός μικρού εσωτερικού μπλοκ μάζας.Όταν ο εξοπλισμός επιταχύνει ή επιβραδύνειΟ αισθητήρας μετατρέπει αυτές τις μηχανικές αλλαγές σε τυποποιημένα ηλεκτρικά σήματα.ώστε να κρίνεται με ακρίβεια η κατάσταση επιτάχυνσης του φορέα.
Σύμφωνα με τα διάφορα δομικά σχέδια, τα επιταχυνόμετρα χωρίζονται κυρίως σε τύπους ανοικτού κύκλου και κλειστού κύκλου.που είναι πολύ κατάλληλο για κοινά καταναλωτικά και βιομηχανικά σενάρια. Οι δομές ισορροπίας δύναμης κλειστού βρόχου υιοθετούν τεχνολογία προσαρμογής ανατροφοδότησης για να διατηρήσουν το μπλοκ μάζας σε σταθερή κατάσταση.,Στην πρακτική χρήση, η απόδοση όλων των επιταχυνόμετρων θα επηρεάζεται από σφάλματα επεξεργασίας,θερμοκρασία περιβάλλοντος και δομικός θόρυβος, η οποία είναι επίσης η βασική κατεύθυνση της βελτιστοποίησης και του βαθμονόμησης του προϊόντος.
3Παραδοσιακά επιταχυντήρια υψηλής ακρίβειας
Πριν από τη δημοσιοποίηση της τεχνολογίας MEMS, τα παραδοσιακά μηχανικά και τα κουαρτζικά επιταχυνόμετρα ήταν η κύρια δύναμη της υψηλής ακρίβειας αδρανειακής μέτρησης, συμπεριλαμβανομένου του εκκρεμές, της δονητικής χορδής,Κεραυλικοί ολοκληρωμένοι γυρομετρητές και ευέλικτα επιταχυντήρια κουαρτσούΟι περισσότερες από αυτές τις παραδοσιακές συσκευές υιοθετούν σχεδιασμό ισορροπίας δυνάμεων κλειστού βρόχου, με εξαιρετική σταθερότητα και χαμηλή απόδοση κλίσης.στρατηγική πλοήγηση και άλλους επαγγελματικούς τομείς.
Ωστόσο, τα παραδοσιακά επιταχυνόμετρα έχουν προφανείς περιορισμούς: έχουν πολύπλοκες δομές, μεγάλο όγκο, υψηλή κατανάλωση ενέργειας και υψηλό κόστος κατασκευής.και δεν μπορεί να παραχθεί σε μάζα και να εφαρμοστεί ευρέως σε πολιτικό και βιομηχανικό εξοπλισμόΠαρ' όλα αυτά, η ώριμη αρχή μέτρησης της ισορροπίας δυνάμεων και η εμπειρία τους στον έλεγχο σφαλμάτων έχουν θέσει ένα σημαντικό τεχνικό θεμέλιο για την επαναληπτική αναβάθμιση των σύγχρονων επιταχυνόμετρων MEMS.
4. Μετακινητήρες MEMS με βάση το πυρίτιο
Τα επιταχυνόμετρα MEMS με βάση το πυρίτιο είναι τα κύρια προϊόντα της σημερινής βιομηχανίας αισθητήρων αδράνειας.Παίρνουν υλικά πυριτίου υψηλών επιδόσεων ως πυρήνα και υιοθετούν ώριμη τεχνολογία επεξεργασίας μικροηλεκτρομηχανικής, συνειδητοποιώντας τη μικροποίηση, τη χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, το χαμηλό κόστος και τη μαζική παραγωγή σε μεγάλη κλίμακα.και μπορεί να προσαρμοστεί σε ποικίλα σενάρια εφαρμογής από τα καταναλωτικά ηλεκτρονικά προϊόντα έως την βιομηχανική πλοήγηση υψηλής ακρίβειας.
Σύμφωνα με τις διάφορες μεθόδους ανίχνευσης σήματος, τα βασικά επιταχυνόμετρα MEMS χωρίζονται σε τέσσερις τύπους με τα δικά τους πλεονεκτήματα.με υψηλή ευαισθησία, χαμηλού θορύβου και σταθερής απόδοσης, κατάλληλο για τα περισσότερα καταναλωτικά, βιομηχανικά και μεσαίας ακρίβειας σενάρια πλοήγησης.που χρησιμοποιούνται κυρίως σε πεδία παρακολούθησης μεσαίας και χαμηλής ακρίβειαςΤα αντηχούντα επιταχυνόμετρα εκπέμπουν σταθερά σήματα συχνότητας, με υψηλή γραμμικότητα και ισχυρή ικανότητα κατά των παρεμβολών, και εφαρμόζονται σταδιακά στην υψηλής ακρίβειας μέτρηση αδράνειας.Τα επιταχυνόμετρα θερμικής σύγκλισης δεν έχουν κινητή μηχανική δομή, με εξαιρετικά υψηλή αντοχή σε κρούσματα και μικρό μέγεθος, κατάλληλο για ανίχνευση στάσης χαμηλής συχνότητας μικροσκοπικών εξοπλισμού.
5Βασικοί δείκτες απόδοσης
Για την αξιολόγηση της απόδοσης των επιταχυνόμετρων χρησιμοποιείται ένα σύνολο ενιαίων βασικών δεικτών, τα οποία αντανακλούν άμεσα την ικανότητα μέτρησης και την προσαρμοστικότητα των προϊόντων.Ο παράγοντας κλίμακας και η μη γραμμικότητα καθορίζουν την ακρίβεια της έκδοσης επιτάχυνσης και θα επηρεάσουν άμεσα τη συσσώρευση σφαλμάτων πλοήγησης μακροπρόθεσμαΟι παρακλίσεις και η σταθερότητα της παρακλίσεις είναι οι πιο σημαντικοί δείκτες, που αντιπροσωπεύουν το μηδενικό επίπεδο μετατόπισης του αισθητήρα σε στατική κατάσταση, το οποίο καθορίζει τη μακροπρόθεσμη ακρίβεια λειτουργίας των αδρανών συστημάτων πλοήγησης.Το σφάλμα ορθομορφίας αντικατοπτρίζει την παρεμβολή ζεύξης μεταξύ διαφορετικών αξόνων μέτρησης, το οποίο αποτελεί σημαντικό αντικείμενο βαθμονόμησης για τους αισθητήρες πολλαπλών άξονων.
Επιπλέον, η πυκνότητα θορύβου και το εύρος ζώνης καθορίζουν τη δυναμική ικανότητα απόκρισης και την ελάχιστη ανάλυση του αισθητήρα.Η εύλογη αντιστοίχιση του εύρους ζώνης και του επιπέδου θορύβου μπορεί να εξισορροπήσει την ταχύτητα απόκρισης και τη σταθερότητα της μέτρησηςΟι αλλαγές θερμοκρασίας θα προκαλέσουν διαρθρωτική μετατόπιση και απόκλιση παραμέτρων.η οποία είναι η κύρια κατεύθυνση βελτιστοποίησης για τη βελτίωση της περιβαλλοντικής προσαρμοστικότητας των επιταχυνόμετρωνΗ ανάλυση διακύμανσης Allan μπορεί να διακρίνει αποτελεσματικά διάφορα τυχαία σφάλματα και να αξιολογεί με ακρίβεια τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα των αισθητήρων.
6Οι κύριες πηγές σφάλματος και ιδέες βελτιστοποίησης
Σε πραγματικά εργασιακά περιβάλλοντα, όλα τα επιταχυνόμετρα θα παράγουν ορισμένα σφάλματα, τα οποία διακρίνονται κυρίως σε καθοριστικά σφάλματα, τυχαία σφάλματα και σφάλματα περιβαλλοντικής ροής.Αποφασιστικά σφάλματα όπως μηδενική προκατάληψη, η απόκλιση του συντελεστή κλίμακας και η μη ορθογωνικότητα του άξονα προκαλούνται από ελαττώματα επεξεργασίας και δομής.Τα λάθη αυτά είναι τακτικά και μπορούν να εξαλειφθούν αποτελεσματικά μέσω επαγγελματικής βαθμονόμησης και αντιστάθμισης αλγορίθμων..
Τα τυχαία λάθη προέρχονται κυρίως από θόρυβο κυκλώματος και μηχανικές μικρο-δονήσεις.που επηρεάζουν τη βραχυπρόθεσμη ανάλυση μέτρησης του αισθητήρα και πρέπει να κατασταλεί με σχεδιασμό δομής χαμηλού θορύβου και με αλγόριθμους φιλτραρίσματοςΤα σφάλματα περιβαλλοντικής ροής οφείλονται κυρίως σε αλλαγές θερμοκρασίας, στρες συσκευασίας και μακροχρόνιας κτιστικής γήρανσης.Αυτά τα σφάλματα είναι οι βασικοί παράγοντες που περιορίζουν τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα των επιταχυνόμετρων MEMS, και μπορεί να βελτιστοποιηθεί μέσω της αντιστάθμισης μοντέλων θερμοκρασίας, της διαδικασίας απελευθέρωσης στρες και της τεχνολογίας διόρθωσης σφαλμάτων σε επίπεδο συστήματος.
7Σύνοψη και τάση ανάπτυξης
Ως βασικός αισθητήρας των αδρανειακών συστημάτων πλοήγησης, τα επιταχυνόμετρα ολοκληρώνουν την ακριβή αντίληψη της κίνησης του φορέα καταγράφοντας μικροσκοπικές αλλαγές αδρανείας.Από τις ογκώδεις παραδοσιακές μηχανικές συσκευές μέχρι τα μικροσκοπικά και ολοκληρωμένα τσιπ MEMS, η τεχνολογική επανάληψη των επιταχυνόμετρων έχει συνειδητοποιήσει τη διάδοση της τεχνολογίας αισθητήρα αδράνειας.δημιουργία ενός πλήρους συστήματος προϊόντων που καλύπτει εφαρμογές πλήρους σεναρίου.
Επί του παρόντος, η βασική κατεύθυνση ανάπτυξης των επιταχυνόμετρων MEMS είναι η περαιτέρω μείωση του θορύβου και της μετατόπισης της θερμοκρασίας, η βελτίωση της μακροπρόθεσμης σταθερότητας και της προσαρμοστικότητας στο περιβάλλον,και ισορροπία υψηλή ακρίβειαΜε τη συνεχή αναβάθμιση της τεχνολογίας επεξεργασίας MEMS και των αλγορίθμων αντιστάθμισης σφαλμάτων, οι νέες τεχνολογίες θα βελτιώσουν την ποιότητα της επεξεργασίας MEMS.τα υψηλής απόδοσης επιταχυνόμετρα MEMS προσεγγίζουν σταδιακά το επίπεδο ακρίβειας των παραδοσιακών επαγγελματικών συσκευών, και θα χρησιμοποιηθούν ευρύτερα σε μη επανδρωμένους εξοπλισμούς, έξυπνη οδήγηση, βιομηχανικό έλεγχο ακριβείας, υψηλής ακρίβειας πλοήγηση και άλλους τομείς υψηλής τεχνολογίας.